真空过程过滤和分离

颗粒，液体/薄雾和蒸气去除

在真空泵，鼓风机和压缩机的入口上使用的内联入口真空过滤器和放电滤波器组件以捕获颗粒物。排放过滤器在真空泵的排气侧用于捕获油雾，雾和气雾剂。